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Microelectronic Applications of Chemical Mechanical Planarization Yuzhuo Li An authoritative, systematic, and comprehensive description of current CMP technology Chemical Mechanical Planarization (CMP) provides the greatest degree of planarization of any known technique. The current standard for integrated circuit (IC) planarization, CMP is... Editeur : Wiley-Interscience Parution : 2007-12-04 PDF 207,78 € J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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