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High Density Plasma Sources Oleg A. Popov This book describes the design, physics, and performance of high density plasma sources which have been extensively explored in low pressure plasma processing, such as plasma etching and planarization, plasma enhanced chemical vapor deposition of thin films, sputtered... Editeur : William Andrew Parution : 1996-12-31 epub sans DRM 163,52 € J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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