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Multilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators Da Chen , Yafei Zhang Mulilayer Integrated Film Bulk Acoustic Resonators mainly introduces the theory, design, fabrication technology and application of a recently developed new type of device, multilayer integrated film bulk acoustic resonators, at the micro and nano scale involving... Editeur : Springer Parution : 2012-08-28 ePub 94,94 € J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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