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Micro Mechanical Systems Wolfgang Menz , T. Fukuda In ten sections this book describes the principles and technology of Micro Mechanical Systems. Section one is a general introduction to the historical background and the parallels to microelectronics, reviewing the motivation for microsystems, and discussing ... Editeur : Elsevier Science Parution : 1998-07-24 PDF, epub sans DRM 237,38 € PDF epub sans DRM J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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