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Flash Lamp Annealing Slawomir Prucnal , Lars Rebohle , Denise Reichel This book provides a comprehensive survey of the technology of flash lamp annealing (FLA) for thermal processing of semiconductors. It gives a detailed introduction to the FLA technology and its physical background. Advantages, drawbacks and process issues are addressed... Editeur : Springer Parution : 2019-07-27 Collection : Springer Series in Materials Science PDF, ePub 126,59 € PDF ePub J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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