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Laser Heat-Mode Lithography Jingsong Wei This book provides a systematic description and analysis of laser heat-mode lithography, addressing the basic principles, lithography system, manipulation of feature size, grayscale lithography, resist thin films, and pattern transfer, while also presenting typical... Editeur : Springer Parution : 2019-11-20 Collection : Springer Series in Materials Science PDF, ePub 94,94 € PDF ePub J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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