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Resonant MEMS Oliver Brand , Isabelle Dufour , Stephen Heinrich , Fabien Josse Part of the AMN book series, this book covers the principles, modeling and implementation as well as applications of resonant MEMS from a unified viewpoint. It starts out with the fundamental equations and phenomena that govern the behavior of resonant MEMS and then... Editeur : Wiley-VCH Parution : 2015-04-22 Collection : Advanced Micro and Nanosystems PDF, ePub 163,47 € PDF ePub J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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