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Nanopositioning Technologies Xinyu Liu , Changhai Ru , Yu Sun This book covers the state-of-the-art technologies for positioning with nanometer resolutions and accuracies, particularly those based on piezoelectric actuators and MEMS actuators. The latest advances are described, including the design of nanopositioning devices,... Editeur : Springer Parution : 2015-12-22 PDF, ePub 94,94 € PDF ePub J'achète Téléchargement immédiat Dès validation de votre commande

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