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Atomic Layer Deposition for Semiconductors



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Éditeur :

Springer


Paru le : 2013-10-18



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Description
This edited volume discusses atomic layer deposition (ALD) for all modern semiconductor devices, moving from the basic chemistry of ALD and modeling of ALD processes to sections on ALD for memories, logic devices, and machines. The section on ALD for memories covers both mass-produced memories, such as DRAM and Flash, and emerging memories, such as PCRAM and FeRAM. The section on ALD for logic devices covers both front-end of the line processes and back-end of the line processes. The final section on ALD for machines looks at toolsets and systems hardware. Each chapter provides the history, operating principles, and a full explanation of ALD processes for each device.
Pages
263 pages
Collection
n.c
Parution
2013-10-18
Marque
Springer
EAN papier
9781461480532
EAN EPUB
9781461480549
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
2
Nombre pages imprimables
26
Taille du fichier
5345 Ko
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Prix
158,24 €

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