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Micro/Nano Integrated Fabrication Technology and Its Applications in Microenergy Harvesting



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Éditeur :

Springer


Collection :

Springer Theses

Paru le : 2015-12-01



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Description
This book presents a universal mass-production micro/nano integrated fabrication technology, which can be used to realize micro/nano hierarchical structures on Si-based materials and flexible polymeric materials. This fabrication technology has been systematically investigated by using experimental measurements, mechanism analyses, theoretical simulations and so on. Three common materials (i.e., silicon, PDMS and Parylene-C) with micro/nano hierarchical structures have been successfully fabricated, which also show several attractive properties. Furthermore, this book introduces this fabrication technology into microenergy field, and proposes several high-performance nanogenerators, of which practical applications have also been studied in commercial electronic device and biomedical microsystem.
Pages
122 pages
Collection
Springer Theses
Parution
2015-12-01
Marque
Springer
EAN papier
9783662488140
EAN PDF
9783662488164
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
1
Nombre pages imprimables
12
Taille du fichier
9134 Ko
Ce livre est accessible aux handicaps Voir les informations sur l'accessibilité
Prix
52,74 €
EAN EPUB
9783662488164
Informations sur l'ebook
Nombre pages copiables
1
Nombre pages imprimables
12
Taille du fichier
5601 Ko
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Prix
52,74 €

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